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中微的核心产品是刻蚀机,用它在芯片上进行微观雕刻,刻出又细又深的接触孔或线条。用尹志尧的话,米粒上刻字,能刻200个已是极限,而等离子刻蚀机的加工工艺,相当于在米粒上刻10亿个字。他还打过另一个比喻,刻蚀机的工作相当于在人的头发丝直径五千分之一的尺度上,建60到100层的楼或者几十层的高速立交桥。15纳米就相当于头发丝直径的五千分之一,其加工精度要求则要达到五万分之一。研制这种设备需要长期知识积累,需要50多种学科背景的集成。

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